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三井化学EMSの発足
三井化学は、ペリクルの販開始以来、LSIペリクルの先端品市場におけるリーディングカンパニーとして、また、半導体業界の最先端技術であるEUV露光に用いられるEUVペリクルの事業化を果たしたトップランナーとして、ペリクル市場において高いプレゼンスを獲得してきました。
一方、LSIペリクル市場における高精細化や品質保証水準の高度化への対応には、一層の技術開発および継続的な追加投資が必要となっております。

旭化成のペリクル事業は、1986年の事業化以来、FPDペリクルにおいてはNo.1プレイヤーとして同市場を牽引するとともに、LSIペリクルにおいても製造工程の改良・生産能力の増強等を推し進め、先端品(液浸ArF)市場おいてシェアを拡大してきました。
このことから、ペリクル事業において高度な技術・強固な事業基盤を持つ旭化成と協議を重ね、三井化学が旭化成のペリクル事業を取得することに至り、新たに三井化学EMS株式会社 が発足しました。
先端領域における三井化学の既存ペリクル事業と、旭化成が有する幅広いペリクル事業のポートフォリオを併せて事業拡大するとともに、新製品の開発や最先端の技術向上を目指し、世界No.1の総合ペリクルメーカーの地位を強固なものとして参ります。
三井化学EMS発足までのあゆみ

