フォトマスクとは
- フォトマスクは、半導体や電子回路、ディスプレイを作る際に使われるツールで、半導体回路の原版となります。
- フォトマスクは、電子機器の微細な回路を作るための型の役割をし、ガラスやPET 素材でできた透明のプレートの上に薄い金属膜で回路パターンを描きます。
- 電子回路やディスプレイの形成には写真技術が利用されますが、その形成時の基板にパターンを転写するためにフォトマスクが使用されます。
この半導体回路の原板となるフォトマスクを、傷や埃などから守る薄い保護膜として
表面に装着させるのがペリクルです。